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日정부, 액체 불화수소도 수출 허가…3가지 품목 모두 풀렸다

반도체 식각에 사용되는 액체 불화수소, 기체 불화수소에 이어 수출 규제 일부 풀려
고장석 기자

일본 정부가 한국에 대한 반도체 핵심 소재 수출을 규제한 이후 처음으로 액체 불화수소에 대한 수출을 허가한 것으로 알려졌다.

16일 업계와 일본 현지 관계자 등은 일본 정부가 최근 자국의 불화수소 생산 기업인 스텔라케미파에 대 한국 액체 불화수소 수출 허가 요청을 받아들인다고 통보했다.

반도체 웨이퍼 (사진=뉴스1)

이번에 일본이 수출을 허가한 액체 불화수소는 삼성전자와 SK하이닉스에 공급하는 물량이다.

불화수소는 일본 정부가 지난 7월 규제한 3대 반도체·디스플레이 수출규제 품목으로, 반도체를 깎아내는 데 사용하는 '액체 불화수소(에천트)'와 세척에 쓰이는 '기체 불화수소(에칭가스)'로 나뉜다.

앞서 일본 정부는 지난 8월 포토레지스트와 기체 불화수소에 대한 수출을 일부 허가했고, 9월에는 플루오린 폴리이미드의 한국 수출도 승인한 바 있다.

고장석 머니투데이방송 MTN 기자

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