삼성전자, 반도체 공정에 국산 불화수소 첫 적용

삼성전자가 D램, 낸드플래시 등 메모리 공정에 쓰이던 일본산 불화수소 대체품으로 국산 제품을 투입하기 시작했다.

삼성전자 클린룸 반도체 생산현장 /사진=삼성전자 제공

3일 반도체 업계에 따르면, 삼성전자가 일본산 불화수소를 대체하기 위해 반도체 공정에 투입한 제품은 국내 소재업체인 솔브레인, 이엔에프테크놀러지 등에서 생산한 제품이 일부 포함됐다. 일부 공정부터 점진적으로 대체품을 적용해나가게 된다.

삼성전자는 7월 일본의 수출규제 이후 일본산 불화수소 공급원을 다변화하기 위해 국내외 제품을 테스트해왔다.

당초 국산화 테스트는 최소 3~6개월 가량 걸릴 것으로 전망됐지만, 예상보다 빠르게 테스트가 진행되면서 조기에 국산 제품 투입이 가능해졌다.

삼성전자 관계자는 "일본산 불화수소가 쓰이던 일부 반도체 공정에 국산 제품이 처음으로 적용됐다"며 "양산에 투입되는 제품의 구체적인 순도 등은 밝힐 수 없다"고 설명했다.

반도체보다 공정이 더 짧고 순도가 낮은 불화수소를 사용하는 디스플레이 업계는 일본산 소재 대체 속도가 더 빠르다.

앞서 LG디스플레이는 LCD와 OLED TV 생산 공정에서 솔브레인의 불화수소 테스트를 마치고 양산 단계에 투입했다. 삼성디스플레이도 이달 내 국산 제품 테스트를 마무리 지을 전망이다.

조은아 머니투데이방송 MTN 기자