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[단독]SK하이닉스도 국산 고순도 불화수소 반도체 공정 투입

국산 불화수소 수율 확인된 반도체 생산공정부터 순차 투입…10월 1일 전면 적용 예정

머니투데이방송 조은아 기자echo@mtn.co.kr2019/09/04 13:52

삼성전자와 더불어 SK하이닉스도 국산 고순도 불화수소 테스트를 마치고 반도체 생산공정에 투입한 것으로 확인됐다.

SK하이닉스는 이달 1일부터 수율이 확인된 공정부터 국산 불화수소를 순차적으로 적용하고 있으며, 오는 10월 1일 전면 적용할 예정이다.

SK하이닉스 반도체 생산공장 /사진=SK하이닉스

SK하이닉스 내부 관계자에 따르면, 국산 불화수소 제품은 수율이 확인된 공정부터 순차적으로 적용되며, 다만 팹별, 디바이스별로 적용 시점은 조금씩 다르다.

SK하이닉스 반도체 공정에 적용되는 제품은 솔브레인의 불화수소와 램테크놀러지의 불산 제품이다. 솔브레인 제품은 M14, M15 공장에서 쓰이고 램테크놀러지 제품은 M10, C2에서 쓰일 예정이다.

앞서 SK하이닉스는 일본산 고순도 불화수소의 국산 대체 속도를 높이기 위해 테스트 과정을 간소화한 바 있다.

품질관리나 수율, 패키징 등 테스트 진행 단계별로 이뤄지던 회의 절차를 줄이고 단계별 볼륨 평가도 축소했다.

한편, SK하이닉스 측은 "소재 다변화를 위해 국산 불화수소를 테스트한 것은 맞다"면서도 다만 "도입 시점에 대해 공식적으로 확인해줄 수 없다"고 말했다.


조은아 머니투데이방송 MTN 기자

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