국내 中企, 그래핀 무정전 신소재 개발…"반도체 웨이퍼 생산 수율 향상"

지그 모습 / 사진제공=넥스젠그래핀폴리머스

그래핀 개발생산 업체 넥스젠그래핀폴리머스가 그래핀을 적용한 반도체 웨이퍼 제작용 무정전 신소재 지그(JIG·기계가공 보조기구)를 세계 최초로 개발해 반도체 산업 현장에 적용한다고 11일 밝혔다.

넥스젠그래핀폴리머스가 i폴리머 회사에 '그래핀 강화 무정전(대전방지용) 그래핀폴리머 신소재 수지'를 납품하면, 이 신소재로 대전방지용 반도체 웨이퍼 센터링용 지그, 반도체 부품 보전용 지그 및 각종 반도체 로봇교정용 지그 등을 만들어 S반도체 회사에 납품하는 구조다.

기존 해외 기술을 바탕으로 한 반도체용 지그는 제작 시에 지그의 위치에 따라 전도성 편차가 심해 반도체 웨이퍼 생산의 수율을 떨어뜨리는 등 많은 문제를 야기했었다.

이번에 넥스젠그래핀폴리머스가 MEPPS 나노 필터 시스템(이종·다종 간의 물질을 물리적, 기계적으로 분산, 융합 및 결합하여 새로운 형태의 복합 신소재를 만드는 기술)을 활용해 그래핀·CNT강화 무정전 신소재 개발에 성공하면서 반도체 웨이퍼 제조의 수율을 획기적으로 향상시킬 수 있게 됐다.

넥스젠그래핀폴리머스가 세계최초로 출시한 대전방지용 지그 신소재로 기존 고순도 카본 기반의 반도체 제조용 지그를 대체할 수 있을 전망이다.

넥스젠그래핀폴리머스는 앞으로 초전도체, 2차전지 등 수요 확대가 예상되는 첨단소재분야 연구에 집중할 계획이다. 제4차 산업 및 글로벌 반도체 시장의 성장 추세에 맞춰 '그래핀적용 응용제품'의 개발 및 상업화를 지속적으로 확대해 나갈 방침이다